鄭州邦達(dá)電氣，多功能pecvd系統(tǒng) DATE: 2024-11-24 03:04:54
價 格：面議
BTE-PECVD是鄭州我公司研發(fā)的一款單溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，它是邦達(dá)由射頻電源系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)、電氣多功多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。系統(tǒng)此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、鄭州石墨烯或SiC薄膜是邦達(dá)一個很好的實驗幫手。產(chǎn)品特點
1.該設(shè)備生長溫度更低
2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，電氣多功沉積速率快
3.設(shè)備輝光均勻等效，系統(tǒng)均勻生長，鄭州成膜質(zhì)量好
4.支持外部真空規(guī)和壓力變送器
5.支持智能進(jìn)氣，邦達(dá)根據(jù)需要設(shè)定不同的電氣多功溫度，自動進(jìn)氣，系統(tǒng)進(jìn)氣定時間到后自動停止進(jìn)氣
6.支持云端數(shù)據(jù)存儲，鄭州隨時查看數(shù)據(jù)
7.支持爐膛移動速度調(diào)節(jié)
8.支持射頻電源根據(jù)外部工況條件自動啟動停止
9.支持壓力恒定，邦達(dá)壓力可以設(shè)定
10.支持超壓保護(hù)，電氣多功壓力值可以設(shè)定，超過后系統(tǒng)自動進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)