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Renishaw光柵尺-RELM20U1A0180
2024-11-24 02:46:05

價 格:9000

Renishaw雷尼紹 RESOLUTE UHV(超高真空)非增量式光柵

RELM20U1A0180(A-9660-0180)

RESOLUTE UHV為超高真空應用提供非增量式光柵技術,光柵幫助客戶提高測量效率,光柵降低損壞風險,光柵并增強 可靠性。光柵

RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的光柵非增量式光柵技術,通過一個適合在低達10 -10 Torr的光柵超高真空條件下應用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術優(yōu)勢。新的光柵RESOLUTE UHV光柵系列的構造有利于進行殘余氣體分析 (RGA)而不會污染真空環(huán)境,非常適合性能高、光柵半導體和科研等應用領域。光柵

頂部測量效率顯著提高

RESOLUTE的光柵性能優(yōu)于其他所有為UHV環(huán)境設計的非增量式光柵。RESOLUTE的光柵分辨率達到32位(直線光柵達到1 nm),速度達到36 000轉(zhuǎn)/分(直線光柵達到100 m/s),光柵其超凡的光柵技術指標是光柵技術的一大新突破!

但RESOLUTE帶來的不僅僅是高速度……的檢測技術還兼具內(nèi)在的超低電子細分誤差 (SDE) 和極低噪音(抖動)特點。

頂部結(jié)果:

速度波動穩(wěn)定性提高10倍

位置穩(wěn)定性提高10倍

可重復性提高10倍

電機產(chǎn)生的光柵熱量減少

頂部降低損壞風險

RESOLUTE是一款真正的非增量式光柵,意味著開啟之后立即確定位置。光柵

無需“開啟并晃動”

無需備用電池

立即實現(xiàn)對軸控制

快速電機換向

保持高負載

例如,這些特點意味著在斷電后仍可以確保機器人對晶片進行拾取操作。

頂部可靠性增強

RESOLUTE的中心技術消除了幾種與光柵反饋有關的很常見失效模式。每次讀數(shù)頭收到來自主控制器的請求時,RESOLUTE柵距圖像,以此確定絕dui位置。圖像包含高度冗余,而讀數(shù)頭應用復雜的交叉檢查和錯誤剔除,將定位精度保持在1 nm范圍內(nèi)。這種技術意味著不會發(fā)生計數(shù)錯誤或者“丟數(shù)”情況。

此外,RESOLUTE采用獨有的內(nèi)置位置校驗算法,在輸出之前主動校驗每個位置讀數(shù),以便在任何潛在問題到達控制器之前就能及時提醒。同時它還可以監(jiān)測速度、信號狀態(tài)和溫度。

RESOLUTE使用純串行通信向控制器發(fā)送已校驗的位置信息。根據(jù)RESOLUTE使用的所有協(xié)議,應用CRC檢查,以便能夠檢測出傳輸過程中的數(shù)據(jù)損壞。

頂部直線光柵和圓光柵

RESOLUTE UHV提供一系列適合各種直線光柵和圓光柵應用的柵尺。

頂部直線光柵選項

名稱

材料

類型

精度

長度

RELA

ZeroMet

具有極低CTE的柵尺

±1 μm

1.13 m

RSLA

不銹鋼

柵尺

長度1 m時精度±1.5 μm

長度2 m時精度±2.25 μm

長度3 m時精度±3 μm

長度5 m時精度±4 μm

5 m

RTLA

不銹鋼

配合FASTRACK使用的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

RTLA-S

不銹鋼

帶自帶不干膠的鋼帶柵尺

±5 μm/m

10 m

頂部圓光柵選項:

RESA圓柵具有低轉(zhuǎn)動慣量和大通孔。尺寸從52 mm至550 mm。

REXA超高精度圓柵配用雙讀數(shù)頭使用時保證精度優(yōu)于±1角秒(在尺寸100 mm和更大的圓柵上)。尺寸從52 mm至550 mm。

型號供應:

光柵尺 RGS20-S

光柵尺 A-9766-0060

光柵尺 RGS20-S

光柵尺 A-9763-0050

光柵尺 RTLC40-S(100mm)

光柵尺 A-9420-0100,0.15米

光柵尺 RELM20U1A0180(A-9660-0180)

光柵尺 RELMIN20U1A0230A(A-9660-0230)

光柵尺 A-9660-0530

光柵尺 A-9660-1500

光柵尺 A-9682-3100

光柵尺 RELMIN20U1A0180A

光柵尺 RELMIN20U1A0380A

光柵尺 RELMIN20U1A0430A

圓光柵 RESA30USA075B

圓光柵 RESM20USA052

(作者:產(chǎn)品中心)