價(jià) 格:9000
Renishaw雷尼紹 RESOLUTE UHV(超高真空)非增量式光柵
RESOLUTE UHV為超高真空應(yīng)用提供非增量式光柵技術(shù),光柵幫助客戶提高測(cè)量效率,光柵降低損壞風(fēng)險(xiǎn),光柵并增強(qiáng) 可靠性。光柵
RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的光柵非增量式光柵技術(shù),通過(guò)一個(gè)適合在低達(dá)10 -10 Torr的光柵超高真空條件下應(yīng)用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術(shù)優(yōu)勢(shì)。新的光柵RESOLUTE UHV光柵系列的構(gòu)造有利于進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA)而不會(huì)污染真空環(huán)境,非常適合性能高、光柵半導(dǎo)體和科研等應(yīng)用領(lǐng)域。光柵
頂部測(cè)量效率顯著提高
RESOLUTE的光柵性能優(yōu)于其他所有為UHV環(huán)境設(shè)計(jì)的非增量式光柵。RESOLUTE的光柵分辨率達(dá)到32位(直線光柵達(dá)到1 nm),速度達(dá)到36 000轉(zhuǎn)/分(直線光柵達(dá)到100 m/s),光柵其超凡的光柵技術(shù)指標(biāo)是光柵技術(shù)的一大新突破!
但RESOLUTE帶來(lái)的不僅僅是高速度……的檢測(cè)技術(shù)還兼具內(nèi)在的超低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和極低噪音(抖動(dòng))特點(diǎn)。
頂部結(jié)果:
速度波動(dòng)穩(wěn)定性提高10倍
位置穩(wěn)定性提高10倍
可重復(fù)性提高10倍
電機(jī)產(chǎn)生的光柵熱量減少
頂部降低損壞風(fēng)險(xiǎn)
RESOLUTE是一款真正的非增量式光柵,意味著開(kāi)啟之后立即確定位置。光柵
無(wú)需“開(kāi)啟并晃動(dòng)”
無(wú)需備用電池
立即實(shí)現(xiàn)對(duì)軸控制
快速電機(jī)換向
保持高負(fù)載
例如,這些特點(diǎn)意味著在斷電后仍可以確保機(jī)器人對(duì)晶片進(jìn)行拾取操作。
頂部可靠性增強(qiáng)
RESOLUTE的中心技術(shù)消除了幾種與光柵反饋有關(guān)的很常見(jiàn)失效模式。每次讀數(shù)頭收到來(lái)自主控制器的請(qǐng)求時(shí),RESOLUTE柵距圖像,以此確定絕dui位置。圖像包含高度冗余,而讀數(shù)頭應(yīng)用復(fù)雜的交叉檢查和錯(cuò)誤剔除,將定位精度保持在1 nm范圍內(nèi)。這種技術(shù)意味著不會(huì)發(fā)生計(jì)數(shù)錯(cuò)誤或者“丟數(shù)”情況。
此外,RESOLUTE采用獨(dú)有的內(nèi)置位置校驗(yàn)算法,在輸出之前主動(dòng)校驗(yàn)每個(gè)位置讀數(shù),以便在任何潛在問(wèn)題到達(dá)控制器之前就能及時(shí)提醒。同時(shí)它還可以監(jiān)測(cè)速度、信號(hào)狀態(tài)和溫度。
RESOLUTE使用純串行通信向控制器發(fā)送已校驗(yàn)的位置信息。根據(jù)RESOLUTE使用的所有協(xié)議,應(yīng)用CRC檢查,以便能夠檢測(cè)出傳輸過(guò)程中的數(shù)據(jù)損壞。
頂部直線光柵和圓光柵
RESOLUTE UHV提供一系列適合各種直線光柵和圓光柵應(yīng)用的柵尺。
頂部直線光柵選項(xiàng)
名稱(chēng)
材料
類(lèi)型
精度
長(zhǎng)度
RELA
ZeroMet
具有極低CTE的柵尺
±1 μm
1.13 m
RSLA
不銹鋼
柵尺
長(zhǎng)度1 m時(shí)精度±1.5 μm
長(zhǎng)度2 m時(shí)精度±2.25 μm
長(zhǎng)度3 m時(shí)精度±3 μm
長(zhǎng)度5 m時(shí)精度±4 μm
5 m
RTLA
不銹鋼
配合FASTRACK使用的鋼帶柵尺
±5 μm/m
10 m
RTLA-S
不銹鋼
帶自帶不干膠的鋼帶柵尺
±5 μm/m
10 m
頂部圓光柵選項(xiàng):
RESA圓柵具有低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和大通孔。尺寸從52 mm至550 mm。
REXA超高精度圓柵配用雙讀數(shù)頭使用時(shí)保證精度優(yōu)于±1角秒(在尺寸100 mm和更大的圓柵上)。尺寸從52 mm至550 mm。
型號(hào)供應(yīng):
光柵尺 RGS20-S
光柵尺 A-9766-0060
光柵尺 RGS20-S
光柵尺 A-9763-0050
光柵尺 RTLC40-S(100mm)
光柵尺 A-9420-0100,0.15米
光柵尺 RELM20U1A0180(A-9660-0180)
光柵尺 RELMIN20U1A0230A(A-9660-0230)
光柵尺 A-9660-0530
光柵尺 A-9660-1500
光柵尺 A-9682-3100
光柵尺 RELMIN20U1A0180A
光柵尺 RELMIN20U1A0380A
光柵尺 RELMIN20U1A0430A
圓光柵 RESA30USA075B
圓光柵 RESM20USA052
(作者:新聞中心)